Puslaidininkių gamybos įrenginys, reikalingas norint pakeisti sugedusį PTFE panardinamąjį šildytuvą kompaktiškoje šlapio stendo kameroje. Laisva erdvė buvo 150 mm pločio plyšys išilgai rezervuaro sienelės, 400 mm gylio, su 100 mm flanšo anga. Reikalinga galia buvo 2,5 kW. Standartiniai katalogo šildytuvai buvo per platūs, per ilgi arba per didelio vatų tankio erdvei. Įrenginiui reikėjo pritaikyto šildytuvo, kuris tilptų į lizdą ir veiktų saugiu vatų tankiu.
Norint nurodyti PTFE panardinamą šildytuvą kompaktiškajai šlapio stendo kamerai, reikia kitokio požiūrio nei nurodant didelį dengimo baką. Vietos apribojimai yra griežtesni, chemija dažnai yra agresyvesnė, o temperatūros vienodumo reikalavimai yra griežtesni. Specifikacijos turi subalansuoti vatų tankį, paviršiaus plotą ir fizinį tinkamumą labai mažame apvalkale.
Erdvės apribojimų analizė
Pirmas žingsnis yra tiksliai suplanuoti turimą erdvę. Šlapio stendo kameroje šildytuvo erdvę dažnai apibrėžia bako sienelė vienoje pusėje, plokštelių laikiklio kelias kitoje ir bako dugnas apačioje. Galimas tūris gali būti netaisyklingos formos, kurios standartinis šildytuvas negali užpildyti.
Pagrindiniai matmenys yra didžiausias plotis, didžiausias gylis, didžiausias aukštis ir atstumas iki judančių dalių. Flanšo anga apibrėžia didžiausią šildytuvo, kurį galima įdėti, skersmenį. Panardinimo gylis apibrėžia naudojamą kaitinamo ilgį.
| Matmenys | Tipiškas apribojimas | Poveikis šildytuvo dizainui |
|---|---|---|
| Galimas plotis | 100–200 mm | Apriboja šildytuvo plotį |
| Galimas gylis | 300–500 mm | Riboja šildomą ilgį |
| Flanšo anga | 80–150 mm | Apriboja šildytuvo įdėjimą |
| Panardinimo gylis | 200–400 mm | Riboja šildomą ilgį |
| Leidimas vežėjui | 50–100 mm | Riboja išsikišimą |
Erdvės apribojimai kompaktiškose šlapių stendų kamerose
Vatų tankio ir paviršiaus ploto apskaičiavimas
2,5 kW galiai esant saugiam vatų tankiui 1,0 W/cm² reikia 2500 cm² apvalkalo paviršiaus ploto. Kameroje, kurioje yra -ribota erdvė, norint pasiekti tokį paviršiaus plotą, reikia kompaktiškos L-ar U-formos konfigūracijos.
L-formos šildytuvas su 250 mm vertikalia sekcija ir 350 mm horizontalia dalimi užtikrina 600 mm šildomą ilgį. Kai apvalkalo skersmuo yra 50 mm, tai sudaro maždaug 942 cm² paviršiaus plotą,{7}}mažesnį nei pusę reikalingo. Reikalinga kelių-lipų konfigūracija su papildomais leidimais.
| Šildytuvo konfigūracija | Šildomas ilgis | Paviršiaus plotas 32 mm | Paviršiaus plotas 50 mm | Tinka 150 mm angoje |
|---|---|---|---|---|
| Tiesus, 250 mm | 250 mm | 250 cm² | 393 cm² | Taip, bet ploto nepakanka |
| L- formos, 250 + 350 mm | 600 mm | 600 cm² | 942 cm² | Taip |
| U-formos, 250 + 200 + 250 mm | 700 mm | 700 cm² | 1100 cm² | Taip |
| Daugia{0}}praėjimas, 4 × 250 mm | 1000 mm | 1000 cm² | 1571 cm² | Taip |
| Daugia{0}}praėjimas, 7 × 250 mm | 1750 mm | 1750 cm² | 2749 cm² | Tvirtas prigludimas |
Šildytuvo konfigūracijos, skirtos 2,5 kW galiai esant 1,0 W/cm² kompaktiškoje kameroje
Šildytuvo įdėjimas į angą
Šildytuvas turi tilpti per flanšo angą ir patekti į turimą angą. 350 mm pločio šildytuvas netilps per 100 mm flanšo angą. Sprendimas yra nukreipti šildytuvą vertikaliai, kad jo plotis būtų suderintas su plyšio gyliu, o jo storis – su flanšo anga.
Daugiatakis šildytuvas su 250 mm šildomo ilgio, 350 mm pločio ir 50 mm ryšulio skersmens gali būti įkištas per 100 mm flanšo angą, jei 50 mm pluošto skersmuo sutampa su anga. Patekęs į baką, šildytuvas pasukamas į vietą.
Srauto ir temperatūros vienodumas ankštose erdvėse
Kompaktiškoje kameroje srautą aplink šildytuvą dažnai riboja šalia esanti bako sienelė ir plokštelių laikiklis. Srautas gali būti netolygus, vienoje pusėje didelis greitis, o kitoje – mažas. Dėl to mažo -greičio pusėje gali atsirasti karštų taškų.
Perforuota pertvara arba srauto kreiptuvas gali tolygiau paskirstyti srautą aplink šildytuvą. Reflektorė turi būti suprojektuota taip, kad tilptų į turimą erdvę ir nukreiptų srautą per tarpus tarp praėjimų.
Puslaidininkių tarnybos medžiagos ir konstrukcija
Puslaidininkiniams įrankiams dažnai reikalingos labai{0}}grynos medžiagos. PTFE apvalkalas turi būti grynas, neužpildytas polimeras su mažai ekstrahuojamų medžiagų. Flanšas turi būti tvirtas PTFE arba PTFE{3}}pamušalas iš nerūdijančio plieno. Terminalo gaubtas turi būti sandariai uždarytas ir vėdinamas, kad būtų išvengta užteršimo.
Prieš montuodami šildytuvą reikia išvalyti ir pasyvuoti. Bet kokios gamybos alyvos ar dalelių likučiai gali užteršti proceso vonią.
Kai standartinis šildytuvas netelpa į kamerą
Standartinis šildytuvas retai tinka kompaktinei šlapio stendo kamerai. Turima erdvė per maža, forma per netaisyklinga, o grynumo reikalavimai per griežti. Pasirinktinė PTFE panardinamojo šildytuvo konfigūracija su kelių praėjimų dizainu, kompaktišku plotu ir sandariu terminalo gaubtu pašalina pagrindinę erdvės trūkumo priežastį. Specifikacijos procesas reikalauja turimų erdvės matmenų, flanšo angos, panardinimo gylio, vonios cheminės sudėties, reikiamos galios ir grynumo reikalavimų. Įrenginiams su kompaktiškomis kameromis šis pritaikymo metodas{5}}užtikrina reikiamą paviršiaus plotą turimoje erdvėje.
