Puslaidininkiniam gaminiui reikėjo pritaikyto PTFE panardinamojo šildytuvo, skirto šlapio stendo proceso bakui. Šildytuvas buvo tinkamai suprojektuotas atsižvelgiant į šiluminę funkciją, chemiją ir erdvės apribojimus. Jis buvo sumontuotas ir sėkmingai veikė tris mėnesius. Tada gamyklos kokybės skyrius paprašė klientų audito dokumentų. Šildytuvo tiekėjas negalėjo pateikti medžiagų atsekamumo, paviršiaus apdailos sertifikavimo ar išgaunamų duomenų. Šildytuvas buvo pašalintas iš eksploatacijos, kol bus gauta dokumentacija.
Puslaidininkiniams gaminiams taikomi dokumentacijos ir sertifikavimo reikalavimai, kurie viršija šildytuvo elektrines ir šilumines specifikacijas. Reikalavimai apima medžiagos grynumą, paviršiaus apdailą, ekstrahuojamąsias medžiagas ir atsekamumą. Individualizuotas PTFE panardinamasis šildytuvas puslaidininkių aptarnavimui turi atitikti šiuos reikalavimus, o tiekėjas turi pateikti tai patvirtinančius dokumentus.
Medžiagos atsekamumas ir grynumas
Puslaidininkiniame šildytuve naudojamas PTFE turi būti atsekamas iki dervos partijos. Tiekėjas turi pateikti polimero analizės sertifikatą (CoA), kuriame nurodytas partijos numeris, gamintojas ir pagrindinės savybės -molekulinė masė, kristališkumas ir priemaišų lygiai.
PTFE turi būti grynas, neužpildytas polimeras. Užpildytas PTFE-, kurio sudėtyje yra stiklo, anglies ar kitų priedų,-nepriimtinas, nes užpildai gali išsiplauti į proceso vonią. Polimeras turi atitikti proceso grynumo reikalavimus, paprastai naudojant ekstrahuojamus jonus žemiau nurodytų ribų.
| Dokumentacija | Ką tai patvirtina | Tipinis reikalavimas |
|---|---|---|
| Dervos CoA | Partijos atsekamumas, savybės | Molekulinė masė, priemaišų lygiai |
| Medžiagos sertifikavimas | Virgin PTFE, be užpildų | 100% grynas PTFE |
| Ištraukiamų medžiagų ataskaita | Jonų tarša | <50 ppb per ion |
| Paviršiaus apdailos ataskaita | Ra vertė | <0.4 μm Ra |
| Matmenų patikrinimas | Tolerancijos laikymasis | Pagal piešinį |
Puslaidininkinių PTFE šildytuvų medžiagų atsekamumo ir grynumo dokumentai
Paviršiaus apdaila ir švara
Puslaidininkių procesams reikalingi lygūs, švarūs paviršiai, kurie nesulaiko dalelių ir neišskiria teršalų. PTFE apvalkalo paviršiaus apdaila turi būti 0,4 μm Ra arba geresnė. Šiurkštesnis paviršius gali turėti dalelių ir skatinti bioplėvelės susidarymą.
Prieš montuodami šildytuvą reikia išvalyti ir pasyvuoti. Valymo procese pašalinami gamybos likučiai, alyvos ir dalelės. Pasyvavimo procesas užtikrina, kad paviršius yra chemiškai inertiškas ir į proceso vonią nepaleidžia teršalų.
Paviršiaus apdailos ataskaita ir valymo sertifikatas patvirtina šildytuvo švarą. Ataskaitoje turi būti nurodytas matavimo metodas, mėginių ėmimo vietos ir rezultatai.
Ištraukiamųjų ir išplaunamų medžiagų testavimas
Ištraukiamųjų medžiagų bandymas matuoja jonų, organinių medžiagų ir dalelių išsiskyrimą iš šildytuvo į proceso skystį. Bandymas apima šildytuvo panardinimą į ypač gryną vandenį arba tipinį proceso skystį, esantį darbinėje temperatūroje tam tikrą laikotarpį, tada analizuojamas skystis, ar nėra teršalų.
Ištraukiamų medžiagų ribos priklauso nuo proceso. Svarbių puslaidininkių procesų ribos gali būti mažose metalų ir organinių medžiagų dalių -vienam -milijardui. Bandymo ataskaitoje dokumentuojami rezultatai ir patvirtinama, kad šildytuvas atitinka proceso reikalavimus.
| Testas | Ką jis matuoja | Tipiškas limitas | Metodas |
|---|---|---|---|
| Ištraukiami metalai | Fe, Cu, Ni, Cr, Zn | <50 ppb each | ICP{0}}MS |
| Organinės ekstrahuojamos medžiagos | TOC, specifinė organika | <100 ppb TOC | HPLC, GC{0}}MS |
| Dalelių išsiskyrimas | Particles >0.2 μm | <100 particles/L | Skysčių dalelių skaitiklis |
| Anijonų ekstraktai | Cl⁻, F⁻, SO₄²⁻ | <50 ppb each | Jonų chromatografija |
Puslaidininkinių PTFE šildytuvų ištraukiamųjų medžiagų bandymo reikalavimai
Elektros ir saugos sertifikatai
Šildytuvas turi atitikti gaminio elektros saugos reikalavimus. Šiaurės Amerikoje tai paprastai reiškia UL arba ETL sąrašą. Europoje tai reiškia CE ženklinimą, atitinkantį galiojančias direktyvas.
Terminalo korpusas turi atitikti atitinkamą apsaugos nuo patekimo reitingą -paprastai IP66 arba NEMA 4X. Šildytuvas turi būti suderinamas su gamyklos apsaugos nuo įžeminimo gedimo sistema.
| Sertifikavimas | Regionas | Ką ji apima | Tipinis reikalavimas |
|---|---|---|---|
| UL 499 | Šiaurės Amerika | Elektros sauga | Į sąrašą įtraukta arba pripažinta |
| CE | Europa | Sauga, EMC | Žymėjimas ir deklaravimas |
| IP66 | Tarptautinė | Apsauga nuo patekimo | Terminalo korpusas |
| ATEX | Europa | Atsparus -sprogimui | Jei degi atmosfera |
| SEMI S2 | Puslaidininkis | Saugos gairės | Fab reikalavimas |
Puslaidininkinių PTFE šildytuvų elektros ir saugos sertifikatai
Atsekamumo ir dokumentacijos paketas
Puslaidininkinio šildytuvo dokumentų paketą sudaro medžiagų sertifikatai, paviršiaus apdailos ataskaita, ištraukiamų medžiagų bandymo ataskaita, elektros sertifikatai ir matmenų patikrinimo ataskaita. Pakuotė turi būti atsekama iki konkretaus šildytuvo serijos numerio.
Prieš priimdamas šildytuvą, pakuotę peržiūri gamyklos kokybės skyrius. Neužbaigti dokumentai gali užtrukti diegimą arba būti atmesti.
Kai standartiniai šildytuvai neatitinka dokumentacijos reikalavimų
Standartiniai PTFE panardinamieji šildytuvai nėra tiekiami su puslaidininkių priežiūrai reikalingu dokumentų paketu. Pasirinktinis PTFE panardinamasis šildytuvas, skirtas puslaidininkių aptarnavimui, apima dokumentus, bandymus ir reikalingą atsekamumą. Specifikacijos procesas reikalauja proceso chemijos, grynumo reikalavimų, paviršiaus apdailos specifikacijos, ekstrahuojamų medžiagų ribų ir elektrinių sertifikatų.
