Po to, kai sudėtingi grandinės raštai išgraviruojami į silicio plokštelę, apsauginė fotorezisto kaukė-turi būti visiškai ir švariai nuimtas tvirto, susieto polimero-sluoksnis-. Tai atliekama karštoje galingų, agresyvių organinių tirpiklių vonioje, dažnai įkaitintoje iki daugiau nei šimto laipsnių Celsijaus. Panardinamasis šildytuvas šios lakios, ėsdinančios cheminės medžiagos viduje turi būti pagamintas iš medžiagos, kurios tirpikliai negali ištirpinti, išsipūsti ar užteršti. PTFE yra chemiškai tyli, inertiška medžiaga.
PTFE šildytuvų vaidmuo fotoresistinio nuėmimo procese
Nuėmimo vonią paprastai sudaro tirpiklių, tokių kaip N-metil-2-pirolidonas (NMP), dimetilsulfoksidas (DMSO) ir stiprių šarminių aminų mišinys, kaitinamas iki 80–110 laipsnių. PTFE panardinamasis šildytuvas yra standartinis šios programos pasirinkimas. Jo chemiškai inertiškas apvalkalas yra visiškai atsparus agresyviems tirpikliams, kurie kitu atveju atakuotų standartinius plastikus ir korozuotų metalus.
PTFE šildytuvas užtikrina švarų, stabilų ir tikslų šilumą, neišskirdamas metalo jonų ar kitų teršalų, kurie galėtų nusėsti ant nesugadinto plokštelės paviršiaus. Nelipnus, lygus PTFE paviršius apsaugo nuo ištirpusių fotorezisto likučių kaupimosi ir išlaiko tobulai švarų kaitinamąjį paviršių kartotiniais ciklais. PTFE šildytuvo fotorezisto plokštelių nuėmimo procesas užtikrina tolygų temperatūros pasiskirstymą ir sumažina vietinį virimą ar smūgius, kurie gali sutrikdyti gležnas plokšteles.
„PTFE šildytuvas yra chemiškai tylus, karštas pirštas galingų tirpiklių vonioje, nuimantis kaukę nepalikdamas nė pėdsako, o plokštelė išlieka nesugadinta ir nepriekaištinga.
Saugos svarstymai
Tirpiklio mišinys yra degus, toksiškas ir dažnai naudojamas netoli virimo temperatūros. Tinkama bako konstrukcija, įskaitant sandarius gaubtus, įžeminimą ir ventiliaciją, yra privaloma, kad būtų išvengta gaisro, garų poveikio ar elektrostatinio pavojaus. Konservatyvus vatų tankis reikalingas norint palaikyti kontroliuojamą šildymą ir išvengti tirpiklio smūgio ar vietinio perkaitimo prie PTFE apvalkalo.
Eksploatacinės naudos
PTFE šildytuvų naudojimas šiame procese leidžia:
Cheminis atsparumas agresyviems tirpiklių mišiniams.
Absoliučios plokštelių švaros ir elektrinio vientisumo palaikymas.
Ilgalaikis{0}}patikimumas be korozijos ar gedimo.
Tolygus, be likučių{0}}kaitinimas, labai svarbus{1}} didelio našumo puslaidininkių gamybai.
Išvada
PTFE panardinamasis šildytuvas yra kritinis, chemiškai atsparus šilumos šaltinis, leidžiantis švariai ir visiškai pašalinti fotorezistus nuo puslaidininkių gamyboje esančių plokštelių. Suteikdamas stabilią,-be teršalų šilumą itin agresyvaus tirpiklio vonioje, PTFE šildytuvas užtikrina atominę švarą, būtiną šiuolaikinei mikroelektronikai. Tobulas, nepriekaištingas kompiuterio lusto paviršius pasiekiamas derinant cheminę agresiją ir inertišką, patikimą kaitinimą.
