Didelio televizoriaus ekranas pastatytas ant labai didelės lovos dydžio stiklo lakšto. Pažangiose gamybos linijose apdorojami dar didesni pagrindai, priartėję prie 10.5 kartos ir vėlesnės kartos garažo vartų matmenų. Šildymo plokštės, laikančios šiuos trapius, didžiulius lakštus, turi būti ne tik plokščios, bet ir plokštesnės už beveik bet kokį inžinerinį paviršių įprastoje pramoninėje aplinkoje, kartu išlaikant vienodą temperatūrą kelių kvadratinių metrų laipsnio dalimis. Tai apibrėžia reiklų šiuolaikinio pasaulio sritįšildymo plokščių plokščiaekranių ekranų gamybasistemos.
Ypatingi masto ir tikslumo reikalavimai plokščių plokščių gamyboje
Plokščiojo ekrano (FPD) gamyboje apdorojami itin -ploni stiklo pagrindai, kurie yra LCD, OLED ir pažangių ekrano technologijų pagrindas. Šie substratai yra mechaniškai trapūs ir jautrūs šilumai, tačiau turi atlikti kelis didelio tikslumo{2}} terminius veiksmus.
Pagrindo charakteristikos
Įprastos ekrano stiklo savybės:
Storis dažnai mažesnis nei 0,5 mm
Dideli paviršiaus plotai matuojami kvadratiniais metrais
Didelis trapumas ir mažas atsparumas lūžiams
Ypatingas jautrumas šiluminiams gradientams
Net nedidelis temperatūros netolygumas{0}}per substratą gali sukelti:
Kreipimasis
Dvigubas streso lūžis
Skystųjų kristalų sluoksnių išlygiavimo klaidos
Mikroįtrūkimai arba katastrofiškas lūžis
Tikslaus kaitinimo plokščių vaidmuo gaminant ekraną
Šildymo plokštės FPD gamyboje tarnauja ir kaip konstrukcinės atramos, ir kaip terminio apdorojimo platformos. Jie yra atsakingi už tikslių temperatūros profilių palaikymą atliekant svarbius veiksmus, tokius kaip fotorezisto kietėjimas, atkaitinimas ir skystųjų kristalų išlyginimas.
FPD gamykloje plokštelė yra tyli, karšta itin plokščia jūra, užtikrinanti tiek mechaninį stabilumą, tiek šiluminį tikslumą substratams, kurie negali toleruoti iškraipymų.
Palaikomi pagrindiniai šiluminiai procesai
Tikslios plokštės naudojamos:
Fotoresistinis kepimas ir kietėjimas
Plonos{0}}plėvelės atkaitinimas
Skystųjų kristalų lygiavimo sluoksnio apdorojimas
Išankstinis -klijavimo terminis kondicionavimas
Substrato stabilizavimas prieš litografiją
Kiekvienam procesui reikalingi griežtai kontroliuojami temperatūros profiliai, paprastai 100–200 laipsnių, priklausomai nuo medžiagų sistemos.
Plokštumo ir šiluminio tolygumo inžinerija
Ekrano -kaitinimo plokščių charakteristika yra ypatingas plokštumas kartu su išskirtiniu temperatūros vienodumu.
Plokštumo reikalavimai
Plokštumas matuojamas mikronais kelių metrų ilgio paviršių. Net nedideli nukrypimai gali sukelti:
Ne{0}}vienodas kontaktinis spaudimas
Lokalūs šildymo svyravimai
Optinis nesutapimas daugiasluoksnėse krūvose
Norėdami tai pasiekti, plokščių pagrindai yra pagaminti iš:
Neįtempti{0}}aliuminio lydiniai
Aukštos kokybės{0}}plieninės konstrukcijos
Kai kurių pažangių konstrukcijų sudėtinės daugiasluoksnės plokštės
Šios konstrukcijos yra mechaniškai stabilizuojamos per ilgus gamybos ciklus, kad būtų išvengta deformacijos.
Temperatūros vienodumo kontrolė
Šiluminė konsistencija palaikoma naudojant:
Dešimtys iki šimtų integruotų šildymo zonų
Nepriklausomos PID valdymo kilpos kiekvienai zonai
Integruoti aušinimo kanalai greitam šilumos atsakui
Temperatūros jutiklių tinklai-realiuoju laiku
Kiekviena zona sureguliuota taip, kad kompensuotų kraštų nuostolius, apkrovos sąlygas ir erdvinį šiluminį poslinkį per plokštelės paviršių.
Konstrukcijų projektavimas ir šiluminės plėtros valdymas
Didelės{0}}plokštumos plokštės turi valdyti savo šiluminį plėtimąsi ir palaikyti trapius pagrindus.
Vienoda plėtros strategija
Nevienodas šiluminis plėtimasis{0}}gali sukelti mechaninį stiklo pagrindo įtempimą. Siekiant to išvengti, plokščių medžiagos ir šildymo išdėstymai suprojektuoti taip, kad plėtimasis vyktų tolygiai visame paviršiuje.
Tai pasiekiama per:
Simetrinis šildymo elementų paskirstymas
Kontroliuojamas medžiagų pasirinkimas ir legiravimas
Baigtinių elementų terminis modeliavimas projektavimo metu
Palaipsniui didinti-augti ir nuleisti{1}}šiluminius profilius
Vakuuminis sulaikymo{0}}integravimas
Daugumoje pažangių šildymo plokščių yra integruotos vakuuminės sistemos.
Vakuuminių sistemų funkcija
Vakuuminis laikymas{0}}pateikia:
Saugi itin{0}}plonų stiklo pagrindų padėtis
Oro tarpų tarp stiklo ir plokštės pašalinimas
Pagerintas šilumos laidumo nuoseklumas
Apsauga nuo mikro{0}}slydimo apdorojimo metu
Vakuuminiai paskirstymo kanalai yra įterpti po plokštelės paviršiumi, kad būtų užtikrintas vienodas siurbimas dideliame{0}}pagrindo plote.
FPD šildymo plokščių gamybos sudėtingumas
Šių plokščių gamyba yra labai specializuota pramonės šaka, kurioje tik ribotas pasaulinių gamintojų skaičius gali gaminti tokio masto ir tikslumo sistemas.
Gamybos iššūkiai
Pagrindiniai gamybos iššūkiai yra šie:
Kelių{0}}kvadratinių- metrų paviršių apdirbimas iki mikronų{2}}lygio
Tankiųjų šildymo zonų tinklų įtvirtinimas be iškraipymų
Streso-malšinimo apdorojimas, kad būtų išvengta-ilgalaikių deformacijų
Paviršiaus vientisumo išlaikymas pakartotinio terminio ciklo metu
Kietos dangos ir poliruotos apdailos dažnai naudojamos siekiant sumažinti susidėvėjimą ir dalelių susidarymą išlaikant šiluminį efektyvumą.
Proceso pastaba: švarios patalpos reikalavimai ir dalelių kontrolė
Plokščias ekranas gaminamas labai kontroliuojamoje švarioje patalpoje, paprastai 100 ar aukštesnės klasės, kur ore esančių dalelių koncentracija yra labai maža.
Švarūs gamybos apribojimai
Šioje aplinkoje naudojamos šildymo plokštės turi:
Sumažinkite dalelių susidarymą šiluminio ciklo metu
Atsparus paviršiaus degradacijai ir dangos išsiliejimui
Vakuuminio veikimo metu išlaikykite stabilų mechaninį vientisumą
Venkite dujų, kurios gali užteršti jautrius sluoksnius
Dėl bet kokio užteršimo kietosiomis dalelėmis gali atsirasti pikselių defektų arba išeiga, todėl paviršiaus stabilumas yra esminis projektavimo reikalavimas.
Terminis jautrumas ir proceso stabilumas
Kadangi ekrano substratai yra labai ploni ir trapūs, net nedideli temperatūros gradientai gali sukelti išmatuojamų iškraipymų.
Gradiento jautrumas
Mažiau nei laipsnio temperatūros skirtumas ant plokštelės gali:
Keisti skystųjų kristalų lygiavimo elgesį
Pakeiskite fotorezisto ekspozicijos reakciją
Įkelkite mechaninį įtempimą į daugiasluoksnes rietuves
Dėl to šiluminės kontrolės sistemos suprojektuotos su itin didele skiriamąja geba ir greitu grįžtamuoju ryšiu.
Kelių{0}}zonų valdymo architektūros svarba
Naudojant kelias nepriklausomai valdomas šildymo zonas, galima tiksliai sureguliuoti temperatūros profilius.
Zoninio šildymo privalumai
Kelių{0}}zonų sistemos įgalina:
Temperatūros balansavimas nuo krašto{0}}į-centrą
Išorinių šilumos nuostolių kompensavimas
Adaptyvusis valdymas įvairiuose proceso etapuose
Lokalizuota šiluminė korekcija apkrovos svyravimams
Ši architektūra yra būtina norint išlaikyti vienodas proceso sąlygas dideliuose substratuose.
Išvada
Plokščiųjų ekranų gamyboje naudojamos tikslios šildymo plokštės yra vienos didžiausių ir tiksliausių kada nors sukurtų terminio apdorojimo sistemų. Dėl jų gebėjimo išlaikyti ypatingą plokštumą, mikronų{1}lygio struktūrinį stabilumą ir labai vienodą temperatūros valdymą keliuose -kvadratiniuose- metrų stiklo pagrinduose jie yra pagrindiniai šiuolaikinio ekrano gamybos elementai.
Įšildymo plokščių plokščiaekranių ekranų gamyba, kiekvienas baigto ekrano pikselis galiausiai priklauso nuo šiluminio tikslumo, pasiekiamo apdorojant šiose didžiulėse platformose. Nuo fotorezisto kietėjimo iki skystųjų kristalų išlyginimo, visas ekrano vaizdinis veikimas prasideda nuo kruopščiai kontroliuojamo terminio paviršiaus.
Didėjant ekrano dydžiams ir mažėjant pagrindo storiui, šioms sistemoms keliami inžineriniai reikalavimai ir toliau auga. Svetainėje žiūrimas ekranas galiausiai gimsta karštoje, plokščioje nepaprasto tikslumo scenoje, kur mechaninis stabilumas ir terminis vienodumas lemia kiekvieno sukurto vaizdo kokybę.
